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什么是多晶硅還原爐?

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什么是多晶硅還原爐?

發(fā)布日期:2017-06-23 作者: 點擊:

    多晶硅還原爐,主要由底盤、爐體、電極、混合氣進氣管、混合氣出氣管、爐體冷卻水進水管、爐體冷卻水出水管、底盤冷卻水進水管、底盤冷卻水出水管及硅棒組成。本發(fā)明因混合氣進氣管均設(shè)置在由電極組成的正多邊形的中心,使得工藝氣體能夠均勻的擴散到位于多邊形頂點的硅棒表面上。

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電極采用正多邊形分布,各電極之間互相輻射的能量基本持平,硅棒之間互相吸收散失的能量,硅棒的溫度更容易得到維持與控制。由于硅棒互相吸收熱輻射,平均每根硅棒被爐體內(nèi)表面吸收的熱輻射大大減少,由于電極數(shù)量增加到36對,單臺還原爐的產(chǎn)量也大幅度提升。每公斤多晶硅的電耗大大降低,多晶硅的綜合生產(chǎn)成本和能耗也相應(yīng)降低。還原爐廠家

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